SJ6000機床激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

機床激光干涉儀產品配置

SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

從數控機床到機器人，SJ6000激光干涉儀為您提供一站式精度校準方案

在制造領域，設備的幾何精度直接決定了產品的加工質量。無論是新機床的驗收，還是在用設備的定期校準，您都需要一款功能強大且適應性廣的測量工具。

SJ6000激光干涉儀憑借豐富的模塊化組件，覆蓋了以下核心應用場景：

1.線性軸高精檢測：適用于機床、三坐標（CMM）、自動化設備及線性位移平臺，可精準測量定位精度、重復定位精度及反向間隙。

2.多維幾何量測量：結合不同鏡組，可輕松實現角度（俯仰/扭擺）、直線度、垂直度、平行度及平面度的高精度測。

3.回轉軸與五軸機床校準：搭配WR50自動精密轉臺，可對直驅電機（DD馬達）及機床回轉軸進行0~360°的校準；針對搖籃軸等無中心軸結構，更提供偏心軸測量解決方案。

4.動態性能分析：不僅僅是靜態測量，還能進行位移、速度、加速度及振幅頻率的動態分析，適用于絲桿導軌動態特性及驅動系統響應特性的深度診斷。

一機多用，SJ6000助您輕松應對復雜多變的工業測量挑戰。

配件與證書

五、注意事項

• 對角線測量套裝配置需求：對角線測量套裝＋可調轉向鏡

• 平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

• 平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可

• 短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

• 長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

• 直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

注：產品參數與配置以實際交付為準，中圖儀器保留根據技術升級調整相關內容的權利，恕不另行通知。